T23系列壓電納米平移臺為直驅(qū)機構(gòu)的小體積壓電定位平臺，提供1至3維（X/Z/XY/XZ/XYZ）的運動方向選擇，它的主要的特點是體積小巧，三維運動版本的尺寸僅為40×40×40mm，易于集成到超精密定位儀器中。同時還具有超快的響應速度，階躍響應時間可達0.3ms，可以配合高精度傳感器來提高平移臺的定位精度；AFM、SPM、STM等顯微掃描操作非常適合應用此平移臺；

　　產(chǎn)品特點：

　　1~3維自由選擇

　　亞毫秒響應時間

　　位移行程8μm

　　最大承載0.8kg

　　重復定位精度可達納米級

　　產(chǎn)品參數(shù)表：

實物參考圖

　　T23系列產(chǎn)品尺寸圖：