T22系列壓電納米平移臺以壓電陶瓷為驅(qū)動核心部件，柔性鉸鏈直驅(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以選擇一至三維（X/Z/XY/XZ/XYZ）運(yùn)動的壓電位移平臺，響應(yīng)時間可達(dá)毫秒級、定位精度可達(dá)納米級，平移臺分為開環(huán)和閉環(huán)兩種，開環(huán)可提供高動態(tài)，高頻響的性能，閉環(huán)可用于超高精密定位的要求。該產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用到多方領(lǐng)域，比如像素補(bǔ)償，激光對準(zhǔn)，光路修正、超精密加工定位等領(lǐng)域。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　直驅(qū)機(jī)構(gòu)

　　亞毫秒響應(yīng)時間

　　承載能力5kg

　　產(chǎn)品參數(shù)表：

實(shí)物參考圖

　　整體外形尺寸圖：

　　T22.Z30尺寸圖：

　　T22.X30尺寸圖：

　　T22.XY30尺寸圖：

　　T22.XYZ30尺寸圖：