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T32系列壓電掃描臺內部采用機構放大設計原理，它的外形尺寸僅為54×54×24mm。具有零摩擦、超高導向精度、納米級分辨率及超高的定位精度等優(yōu)點。T32系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。同時外形及中孔尺寸支持定制，如果有特殊定制需求請致電銷售工程師即可；
典型應用領域：
干涉掃描
聚焦顯微
表面測量
圖像處理與穩(wěn)定
晶圓定位
產品參數表：
實物參考圖
T32系列產品尺寸圖：
