T31壓電掃描臺，可以做成一至三個維度（X/Z/XY/XZ/XYZ），臺體中心方形通孔，更方便應(yīng)用于需要透光掃描的場合，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有良好的導(dǎo)向精度、高剛性、無磨損等特點，閉環(huán)平臺配置高精度應(yīng)變傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程超高的重復(fù)定位精度。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)掃描研究、光學(xué)分析、樣品檢測、像素補(bǔ)償?shù)焦I(yè)化OEM系統(tǒng)等都得到廣泛應(yīng)用。

　　該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。如果需要更大的孔徑，請聯(lián)系銷售工程師進(jìn)行定制即可；

　　產(chǎn)品特點：

　　最大位移110μm

　　最大承載0.7kg

　　中心通孔45×45mm

　　閉環(huán)重復(fù)定位精度

　　開/閉環(huán)可選

　　典型應(yīng)用領(lǐng)域：

　　掃描顯微

　　共焦顯微

　　晶圓定位

　　表面測量圖像處理與穩(wěn)定

　　半導(dǎo)體測試

　　樣品掃描分析定位

　　產(chǎn)品參數(shù)表：

實物參考圖

　　T31系列產(chǎn)品尺寸圖：