宏微復(fù)合平移臺(tái)是將標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的位移,測(cè)微頭的分辨率是10μm，再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)20μm,壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率可＜1nm，這個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭可以對(duì)元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　壓電驅(qū)動(dòng)標(biāo)稱行程為20μm

　　運(yùn)動(dòng)方向最大推力20N

　　亞納米的分辨率

　　可配套13mm行程的手動(dòng)平移臺(tái)

　　平移臺(tái)的最大承載能力1.5kg

　　產(chǎn)品參數(shù)表：